Feinschleifen ist das Spanen mit einem vielschneidigen Werkzeug aus gebundenen, hochharten Schleifmitteln unter ständiger Flächenberührung zwischen Werkstück und Werkzeug zur Verbesserung von Maß-, Form- und Oberflächengüte. Im Gegensatz zum Läppen, bei dem das Schleifkorn in ungebundener Form vorliegt, werden beim Feinschleifen Werkzeuge mit gebundenem Korn eingesetzt. Aus diesem Grund werden trotz vergleichbarer kinematischer Verhältnisse während der Bearbeitung unterschiedliche Abtragsmechanismen wirksam. Das Feinschleifen ist ein Doppel-Quer-Seiten-Planschleifprozess mit zykloidaler Werkstückbewegung, bei dem beide Werkstückseiten gleichzeitig bearbeitet werden. Nach Einlegen der Werkstücke in die dafür vorgesehenen Ausnehmungen der Läuferscheiben werden letztere über eine Verzahnung zwischen zwei rotierenden Schleifscheiben geführt. Die Läuferscheiben bewegen sich dabei wie die umlaufenden Räder eines Planetengetriebes zwischen dem angetriebenen, inneren und dem stillstehenden, äußeren Stiftkranz der Abwälzvorrichtung, so daß die in den Läuferscheiben befindlichen Werkstücke zykloidische Bahnen beschreiben.

Durchlaufschleifen ist ein Einseiten- oder Doppelseiten – Planschleifprozess. Beim Einseiten - Schleifprozess werden die Bauteile linear auf einem Transportband unter einer leicht angestellten, rotierenden Schleifscheibe hindurch geführt. Es sind Abträge von mehreren 10-tel Millimeter in einem Arbeitsgang möglich. Beim Doppelseiten – Planschleifprozess werden die Bauteile in einem runden Transportteller oder alternativ auch linear über ein Transportband zwischen zwei leicht angestellten rotierenden Schleifscheiben hindurch geführt. Es ist möglich in einem Arbeitsgang mehrere 10-tel Millimeter maßgenau beidseitig abzutragen.

Das Honen ist ein Doppel-Quer-Seiten-Planschleifprozeß mit zykloidaler Werkstückbewegung. Die Werkstücke werden durch die Aufnahme in Läuferscheiben über eine Verzahnung zwischen den beiden rotierenden Schleifscheiben geführt. Die Läuferscheiben bewegen sich wie die umlaufenden Räder eines Planetengetriebes zwischen dem angetriebenen, inneren, und dem stillstehenden, äußeren Stiftkranz der Abwälzvorrichtung.

Beim Läppen werden die Werkstücke zwischen zwei Planparallelen Guß - Läppscheiben bearbeitet. Die Kinematik lässt sich als Doppel-Quer-Seiten-Planprozeß mit zykloidaler Werkstückbewegung beschreiben. Durch die obere Läppscheibe gelangt die Läppkörnung in Form einer Suspension in den Arbeitsspalt. Beim Abrollen der Körner entstehen Mikrorisse an der Oberfläche der Werkstücke, welche durch Rißvernetzung zum Ausbrechen kleinster Partikel führen. Dieser Abtrag tritt zusammen mit dem Läppmittel seitlich aus dem Arbeitsspalt aus. Der Abtrag ergibt sich aus den Prozeßparametern wie Scheibendrehzahl, Normalkraft oder der verwendeten Korngröße und Kornmenge. Die geläppte Oberfläche weist eine regellose kraterähnliche Struktur auf.

Beim Polieren werden die Werkstücke zwischen zwei Planparallelen Polierscheiben bearbeitet. Die Kinematik lässt sich als Doppel-Quer-Seiten-Planprozeß mit zykloidaler Werkstückbewegung beschreiben. Durch die obere Polierscheibe gelangt die Polierflüssigkeit in den Arbeitsspalt. Beim Abrollen der Körner entstehen Mikrorisse an der Oberfläche der Werkstücke, welche durch Rißvernetzung zum Ausbrechen kleinster Partikel führen. Dieser Abtrag tritt zusammen mit dem Poliermittel seitlich aus dem Arbeitsspalt aus. Der Abtrag ergibt sich aus den Prozeßparametern wie Scheibendrehzahl, Normalkraft oder der verwendeten Poliersuspension. Die polierte Oberfläche weist eine regellose im allgemeinen reflektierende Struktur auf.

Bei Peter Wolters Entgratanlagen handelt es sich um 2 bis 5-Stationenanlagen mit je drei bzw. vier Bürsten pro Station. Das Entgraten ist sowohl ein- als auch beidseitig möglich, wobei bei letzterem die Werkstücke automatisch mit Hilfe einer Wendestation in der Anlage gewendet werden. Ferner besteht die Möglichkeit der vollautomatisierten Verknüpfung der Anlage mit einer Peter Wolters Feinschleifanlage. Die Bürsten der Burr-Ex Entgratstationen beschreiben auf dem zu Entgratenden Bauteil zykloidische Bahnen. Durch die Eintauchtiefe der Bürstborsten in das Bauteil und deren rotatorische Plan-Seiten-Ouerbewegungen relativ zum Bauteil, erfährt jede Bauteilkante oder -bohrung einen äußerst gleichmäßigen Kontakt. Daher auch äußerst gleichmäßige Entgratergebnisse in alle ebenen Richtungen.

Haze Free Polishing is a chemical mechanical polishing process to create perfect product surfaces of Prime-, Reclaim- and SOI-wafer amongst retention of the good results in geometry (GBIR, SFQR) achieved by the prior DSP process.