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Feinschleifen ist das
Spanen mit einem vielschneidigen Werkzeug aus gebundenen, hochharten
Schleifmitteln unter ständiger Flächenberührung zwischen Werkstück
und Werkzeug zur Verbesserung von Maß-, Form- und Oberflächengüte. Im Gegensatz
zum Läppen, bei dem das Schleifkorn in ungebundener Form vorliegt, werden beim
Feinschleifen Werkzeuge mit gebundenem Korn eingesetzt. Aus diesem Grund werden
trotz vergleichbarer kinematischer Verhältnisse während der Bearbeitung
unterschiedliche Abtragsmechanismen wirksam. Das Feinschleifen ist ein
Doppel-Quer-Seiten-Planschleifprozess mit zykloidaler Werkstückbewegung, bei
dem beide Werkstückseiten gleichzeitig bearbeitet werden. Nach Einlegen der
Werkstücke in die dafür vorgesehenen Ausnehmungen der Läuferscheiben werden
letztere über eine Verzahnung zwischen zwei rotierenden Schleifscheiben
geführt. Die Läuferscheiben bewegen sich dabei wie die umlaufenden Räder eines
Planetengetriebes zwischen dem angetriebenen, inneren und dem stillstehenden,
äußeren Stiftkranz der Abwälzvorrichtung, so daß die in den Läuferscheiben
befindlichen Werkstücke zykloidische Bahnen beschreiben.
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Durchlaufschleifen ist ein Einseiten-
oder Doppelseiten – Planschleifprozess. Beim Einseiten - Schleifprozess werden
die Bauteile linear auf einem Transportband unter einer leicht angestellten,
rotierenden Schleifscheibe hindurch geführt. Es
sind Abträge von mehreren 10-tel Millimeter in einem Arbeitsgang möglich. Beim
Doppelseiten – Planschleifprozess werden die Bauteile in einem runden
Transportteller oder alternativ auch linear über ein Transportband zwischen
zwei leicht angestellten rotierenden Schleifscheiben hindurch geführt. Es ist
möglich in einem Arbeitsgang mehrere 10-tel Millimeter maßgenau beidseitig
abzutragen.
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Das Honen ist ein
Doppel-Quer-Seiten-Planschleifprozeß mit zykloidaler Werkstückbewegung. Die
Werkstücke werden
durch die Aufnahme in Läuferscheiben über eine Verzahnung zwischen den beiden
rotierenden Schleifscheiben geführt. Die Läuferscheiben bewegen sich wie die
umlaufenden Räder eines Planetengetriebes zwischen dem angetriebenen, inneren,
und dem stillstehenden, äußeren Stiftkranz der Abwälzvorrichtung.
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Beim Läppen werden die Werkstücke
zwischen zwei Planparallelen Guß - Läppscheiben bearbeitet. Die Kinematik lässt
sich als Doppel-Quer-Seiten-Planprozeß mit zykloidaler Werkstückbewegung
beschreiben. Durch
die obere Läppscheibe gelangt die Läppkörnung in Form einer Suspension in den
Arbeitsspalt. Beim Abrollen der Körner entstehen Mikrorisse an der Oberfläche
der Werkstücke, welche durch Rißvernetzung zum Ausbrechen kleinster Partikel
führen. Dieser Abtrag tritt zusammen mit dem Läppmittel seitlich aus dem
Arbeitsspalt aus. Der Abtrag ergibt sich aus den Prozeßparametern wie
Scheibendrehzahl, Normalkraft oder der verwendeten Korngröße und Kornmenge. Die
geläppte Oberfläche weist eine regellose kraterähnliche Struktur
auf.
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Beim Polieren werden die Werkstücke
zwischen zwei Planparallelen Polierscheiben bearbeitet. Die Kinematik lässt
sich als Doppel-Quer-Seiten-Planprozeß mit zykloidaler Werkstückbewegung
beschreiben. Durch
die obere Polierscheibe gelangt die Polierflüssigkeit in den Arbeitsspalt. Beim
Abrollen der Körner entstehen Mikrorisse an der Oberfläche der Werkstücke,
welche durch Rißvernetzung zum Ausbrechen kleinster Partikel führen. Dieser
Abtrag tritt zusammen mit dem Poliermittel seitlich aus dem Arbeitsspalt aus.
Der Abtrag ergibt sich aus den Prozeßparametern wie Scheibendrehzahl,
Normalkraft oder der verwendeten Poliersuspension. Die polierte Oberfläche
weist eine regellose im allgemeinen reflektierende Struktur
auf.
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Bei Peter Wolters Entgratanlagen
handelt es sich um 2 bis 5-Stationenanlagen mit je drei bzw. vier Bürsten pro
Station. Das Entgraten ist sowohl ein- als
auch beidseitig möglich, wobei bei letzterem die Werkstücke automatisch mit
Hilfe einer Wendestation in der Anlage gewendet werden. Ferner besteht die
Möglichkeit der vollautomatisierten Verknüpfung der Anlage mit einer Peter
Wolters Feinschleifanlage. Die Bürsten der Burr-Ex Entgratstationen beschreiben
auf dem zu Entgratenden Bauteil zykloidische Bahnen. Durch die Eintauchtiefe der
Bürstborsten in das Bauteil und deren rotatorische Plan-Seiten-Ouerbewegungen
relativ zum Bauteil, erfährt jede Bauteilkante oder -bohrung einen äußerst
gleichmäßigen Kontakt. Daher auch äußerst gleichmäßige Entgratergebnisse in
alle ebenen Richtungen.
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Haze Free Polishing is
a chemical mechanical polishing
process to create perfect product surfaces of Prime-, Reclaim- and SOI-wafer
amongst retention of the good results in geometry (GBIR, SFQR) achieved by the
prior DSP process.
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